MEMS力学量微纳传感芯片研发中心

中心已具备自有的MEMS芯片设计、制备核心技术能力，聚焦基于MEMS工艺惯性导航与高精度压力传感器等芯片研发，已形成相应的技术研发与产业化平台。致力于推动MEMS惯性导航与高精度压力智能传感器，在航空航天、无人车船、移动机器人、智能装备、自然灾害监测、智慧城市等军民领域中的应用，构建从设计到产品制造和具体应用系统的全产业链体系。